非标定制：
3主要技术指标 3.1 腔内尺寸：Φ800*674mm； 3.2 真空度：≤2Pa； 3.3 泄漏率：≤5torr/24h； 3.4 材质：SUS316L； 3.5 腔体中心高度：1200±50mm； 3.6 腔体黒铬处理； 3.7腔体外部加热和保温温度：≥120℃； 3.8 视窗1规格：300*400mm，数量2； 3.9 视窗2规格：300*200mm，数量1； 3.10 视窗3规格：420*300mm，数量1； 3.11 活动腔门：Φ975*40mm，数量2； 3.12 腔内测试台规格：300*500mm； 3.13 光学平台1规格：760*500*10mm，数量2； 3.14 光学平台2规格：845*500*10mm，数量2； 3.15 尾气管规格：DN200。